Utilização de níquel e aço inoxidável 316L Filter Assemblies por yaang.com por yane Yang

O aumento continuou em sofisticação dispositivo semicondutor, e diminuição resultante em larguras de linha, requerem componentes mais limpas em toda a sistemas de distribuição de gás de processo. Devidamente concebidos de alta pureza do filtro de gás assembléias são transparentes aos componentes homogêneos no fluxo de gás, ou seja, para eliminar a contaminação de partículas com nenhum outro efeito sobre a pureza do gás de admissão. A fim de alcançar esse objetivo, os conjuntos usados ​​para abrigar os dispositivos de filtro são mais frequentemente construídos de lisa, limpa e polimento elétrico. 316 aço inoxidável

"Smooth and clean" é um termo relativo, exigindo definição mais explícita . Requisitos de especificação são estabelecidas sempre que os limites de desempenho para conjuntos de filtro são claramente entendidas e mensuráveis. Por exemplo, a contribuição de humidade e rugosidade da superfície são razoavelmente bem definidos. No entanto, estes parâmetros são baseados em medições limitada pela sensibilidade da melhor instrumentação disponível. A fim de atender a esses critérios, o "melhor" de matérias-primas disponíveis que para fabricar componentes são muitas vezes especificado. A lógica em simplesmente escolher o melhor material segue apenas se o material em última análise, cumpre os destinados especificação requisitos e se o fabricante conjunto de filtro compreender que o material propriedades. estão governando

Yaang avalia cuidadosamente todas as matérias-primas utilizadas para fabricar semicondutores filtro gás montagens. Há muitas características importantes de aço inoxidável 316L que devem ser considerados na concepção dos conjuntos de alta pureza. Aço inoxidável tipo 316L é uma liga bem caracterizados e compreendidos. A sua boa resistência à corrosão é um resultado de ambos formulação cuidadosa dos principais elementos de liga (Fe, Ni, Cr, Mn, Mo e), bem como o controlo de vestígios de constituintes críticos (C, S, e Si). Semelhante a outros componentes acabados, utilizam conjuntos de filtro de aço inoxidável que tem sido mais trabalhado, ou seja, laminado, estirado, usinado, ou   soldada;.

Nestes casos, não é suficiente para simplesmente indicar o material química. Cada uso pretendido do aço inoxidável pode implicar ligeira modificação da especificação básica, mas as exigências mais comumente especificado que resultaram em multa, acabamento superficial eletropolido são:

  • Química 316L equilibrada

  • austenítico homogênea. . microestrutura

  • muito poucas inclusões

  • Fine   grão; estrutura

    Materiais Comparação:.. inoxidável barra de aço

    HEAT ID #

    SPEC.- - »N /A

    SA47935439

    TypicalN /A

    VAR Spec.Typ.1ELEMENTAL(%): FeBAL.BAL.BAL.Cr16-1817.116-18Ni10-1412.010-14Mo2-32.12-3Mn2*1.7<2Si1.0*0.45≈0.5C0.03*0.020<0.03S0.03*0.0020≤0.005* = Máximo

    Critérios

    adicionais

    tamanho de grão-5Não Specified2INCLUSION TIPO

    (ASTM E-45) -NUMBERNUMBERSulfides-0.52.03Alumina-003Silicates-02.53Oxides-1.51.53 1 316L VAR não especifica (ou resultar em) composição química que é de maior desempenho do que SA479 com a exceção notável de enxofre reduzido

    2. os valores típicos medidos foram dentro de uma janela de 5-10. Sims 3 Não Especificadas. Típica indicada.

    A fim de eliminar os vazios microscópicos na massa fundida, assim como para purificar ainda mais o metal, reduzindo certas impurezas contaminantes, muitos aços inoxidáveis ​​de alta pureza passam por um processo de fusão secundário (por exemplo, vácuo arco refusão, conhecido como VAR) . Este processo reduz os sulfuretos, silicatos, fosfatos, aluminas, e outras impurezas. Dessas impurezas, enxofre é o mais prejudicial para a realização dos finishe superfície fina (assumindo que as outras impurezas estão dentro dos limites normalmente especificados) . Estes vestígios de impurezas tendem a perturbar ("break") as estáveis ​​austeníticos estrutura e forma inclusões que são menos nobre do que o metal original. Quando as inclusões são raras e muito pequeno em tamanho, isso pode não ser um problema. No entanto, quando as superfícies muito finas (< 10 micropolegadas Ra) são desejados, todas as inclusões tornam-se aparentes depois de polimento mecânico final ou electropolimento. É por esta razão que 100X inspeção microscópica após polimento mecânico multa é comumente usado para quantificar o teor de inclusão. Electropolimento muitas vezes acentua os defeitos de superfície, removendo as inclusões menos nobres em primeiro lugar, através de dissolução preferencial.

    estrutura de grãos também devem ser considerados quando se escolhe elevado grau de pureza aço inoxidável. Materiais de grão fino são preferíveis uma vez que eles tendem a ser mais homogénea. Como grãos crescem (por exemplo, durante o arrefecimento lento), não há mais tempo para os disjuntores de austenite para precipitar nas fronteiras de grão. Isto tem como efeito transformar um deslocamento limpo da estrutura ("saudáveis" limite do grão) em um local para inclusões. Além disso, os materiais de granulação fina conduzir corrente elétrica de maneira mais uniforme. Condutância uniforme é uma característica importante durante o processo de eletropolimento

    Fonte:. Zhejiang Yaang Tubulação Industry Co., Limited (www.yaang.com)